Vacuum Tweezer FSeries FSeries는 클린룸 환경에서 사용 가능하도록 고청정의 테프론 Body 재질을 사용하여 내화학성은 물론 낮은 발진량을 보입니다 다양한 종류의 Tip을 선택 할 수 있으며 특수밸브를 사용하여 적정한 진공상태을 유지 Wafer의 확실한 장착을 보장하며 진공을 풀었을 경우 즉각적인 탈착으로 안전한 공정흐름을 유지시킵니다 ● Cleanroom 환경에 적합한 소재로 Particle 및 오염물 발생 최소화 ● PTFE 재질의 Body로 뛰어난 내화학성 ● 특수연마처리된 Tip 표면은 대상물에 대한 확실한 밀착성 유지 제품종류 F 001 X 01 3F F Series Valve Connection Tip Tip Material Valve 적용코드 001 002 003 사양 폐쇄형 개방형 가변형 Connection 적용코드 X Y Z 사양 Ball Swivel Joint Fixed Joint Collect Chuck Joint Tip (mm Thickness×Width×Length1×Length1) 적용코드 사이즈 적용코드 사이즈 01 25×15×26×35 11 32×15×25×77 02 25×13×21×30 12 17×20×22×60 03 25×26×31×40 13 09×16×21×63 04 37×40×18×25 14 26×31×34×86 05 25×31×34×41 15(3F) 34×47×55×162 06 25×10×21×30 15(PK) 3×47×55×162 09 37×26×30×35 15(VP) 3×51×61×3180 Tip Material 적용코드 사이즈 3F PTCFE(Polychlortrifluorethylene) PK PEEK(Polytheretherketone) VP Vaspel(Polyimide) Tip Material PK VP 3F Tip Size FSeries Valve Connection Tip 01 02 03 MISCELLANEOUS GOODS 6 04 05 11 06 9 13 12 14 153F 15PK 15VP MISCELLANEOUS GOODS

MISCELLANEOUS GOODS 6 MISCELLANEOUS GOODS X Y Z 96 97 001 92 95 002 90 003 CSeries Valve Connection 98 91 Vacuum Tweezer CSeries CSeries는 ESD가 민감한 지역에서 Wafer 취급 시 사용되며 미국 및 일본에 특허 등록된 특수밸브를 사용하여 적정한 진공상태을 유지 Wafer의 확실한 장착을 보장하며 진공을 풀었을 경우 즉각적인 탈착으로 안전한 공정흐름을 유지시킵니다 ● Clean Nylon 재질의 바디로 ESD로 인한 Wafer 손상방지 ● 특수 연마처리된 Tip은 Conductive Peek로 Particle 발생 최소화 ● 106 108Ω/㎡ 표면저항으로 정전기 발생 억제 제품종류 C 001 X 90 CP C Series Valve Connection Tip Tip Material Valve 적용코드 001 002 003 사양 폐쇄형 개방형 가변형 Connection 적용코드 X Y Z 사양 Ball Swivel Joint Fixed Joint Collect Chuck Joint Tip (mm Thickness×Width×Length1×Length1) 적용코드 사이즈 적용코드 사이즈 90 91 92 95 23×16×26×82 23×26×33×89 25×32×39×95 27×15×28×37 Tip Tip Size Tip Material 96 97 98 CP 27×27×32×42 36×31×37×43 30×32×39×128 Tip Material 적용코드 사이즈 CP Conductive PEEK(Polytheretherketone)